多晶硅是太陽能和微電子產業的關鍵原材料，隨著我國太陽能產業的快速發展，多晶硅的需求量也與日俱增。目前，多晶硅工藝技術空前活躍。主要有西門子法、冶金法、等離子法、硅烷法、流化床法、熔鹽電解法、無氯工藝技術等。西門子法是通過氣相沉積的方式生產柱狀多晶硅。為了提高原料利用率，在原基礎上采用閉環式生產工藝即改良西門子法。改良西門子工藝生產的多晶硅產能約占世界總產能的80%。

　　國內外對西門子法制備高純多晶硅的研究較多。如張玉等人采用催化化學氣相沉積法制備多晶硅薄膜;美國M.M.Dahl等人研究了多晶硅在流化床中的微觀結構和顆粒生長。此外，多晶硅的生產技術還有碳熱還原法、區域熔煉法等。碳熱還原法是利用高純碳還原二氧化硅制取多晶硅，區域熔煉法是利用金屬定向凝固原理將金屬級硅提純到、太陽能級硅的。

　　廢氣和殘液的處理
　　在多晶硅制備中有大量的廢氣和廢液產生，國內多數單位通常先用水洗水解，然后通過NaOH中和廢氣處理和殘液處理工序。